报告人：张莹 中国工程物理研究院
邀请人：闫海洋
报告时间：2025年4月14日（周一）上午10：00
报告地点：龙赛理科楼南楼414会议室

报告人简介：
张莹，博士，中国工程物理研究院电子工程研究所副研究员。长期从事粒子探测技术相关研究工作。主持国家自然科学基金项目2项，参研国家重点研发计划、国家自然科学基金以及广东省自然科学基金等项目10余项。目前已成功研制大面积高占空比SiC PiN阵列结构粒子探测器、高效率SiC微沟槽结构中子探测器以及高通量SiC电子探测器等多款器件，在某些场景得到初步应用验证。相关成果荣获军科委科技进步二等奖1项，发表SCI期刊论文20余篇，授权发明专利10余项。 

报告摘要：
1）基于4H-SiC的中子探测器以其体积小巧、时间响应快、n/γ分辨强等优势引起广泛关注。但其探测效率低下，应用推广受到制约。团队通过对高效率4H-SiC中子探测器的关键问题研究，明确探测器沟槽参数对中子探测效率的影响规律；掌握高深宽比4H-SiC刻蚀技术，刻蚀深度超过50μm，深宽比≥5；掌握基于液相离心法的6LiF粉末填充技术，并最终完成4H-SiC微结构中子探测器的样机研制。经测试，初版中子探测效率达到3.28%。
2）微太中心微纳加工平台现有工艺能力介绍。

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